Saggio, G., D’Amico, A., Beaumont, S.p. (1993). Gas etching profile modulated by freon-12. VUOTO, 4, 40-45.

Gas etching profile modulated by freon-12

Giovanni Saggio
;
Arnaldo D’Amico;
1993-01-01

1993
Pubblicato
Rilevanza internazionale
Articolo
Esperti anonimi
Settore ING-INF/01
English
Saggio, G., D’Amico, A., Beaumont, S.p. (1993). Gas etching profile modulated by freon-12. VUOTO, 4, 40-45.
Saggio, G; D’Amico, A; Beaumont, Sp
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