Caratterizzazione della propietà piezoresistiva in films di diamante CVD per essere utilizzati come sensori di deformazione.

Nel presente lavoro di tesi si fa menzione dei limiti meccanici, termici ed elettronici delle propietá del silicio ad alte temperature, perció dei nuovi materiale devono essere sviluppati; un materiale che presenta delle ottime propietá meccaniche, ottiche, termiche ede elettroniche è il diamante e in particulare il diamante policristalino ottenuto tramite CVD (Chemical Vapour Deposition). In questo scenario s’è sviluppato il presente lavoro di tesi che ha come organizzazione tematica sette capitoli. Il lavoro se centra nello studio d’il drogaggio d’il diamante e dell’effetto piezoresistivo nei films di diamante CVD cresciuti e drogati al boro preso i laboratori d’il Dipartimento d’Ingegneria Meccanica dell’Università di Roma “Tor Vergata”. Nello stesso lavoro si presentano degli studi sul predetto effetto ad alte temperature con lo scopo di stabilire dei parametri fisici che devono essere controllati per la realizzazione d’un sensore di deformazione al diamante adatto ad essere utilizatto ad alte temperature. Si presentano pure delle conclusione e delle resegne bibliografiche per una migliore comprensione degli aspecti teorici sottostanti all’effetto piezoresistivo.